Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2023
Ключевые слова: fiber-optic sensor, hydrogen, Fabry-Perot interferometer, tantalum, fused silica, membrane, волоконно-оптический датчик, водород, интерферометр Фабри-Перо, тантал, кварцевое стекло, мембрана
Аннотация: В работе рассматриваются технологические и эксплуатационные характеристики волоконно-оптического датчика концентрации молекулярного водорода на основе интерферометра Фабри-Перо. Показана возможность регистрации концентрации водорода по деформации мембраны с осажденным на ее внешнюю поверхность слоем Al2O3/Ta/SiO2. Осажденная пленка α-тантала обеспечивает высокую диффузию водорода и позволяет создавать датчики с быстрым откликом к водороду, менее 10 с. Установлено практически полное отсутствие кросс-чувствительности датчика к температуре в диапазоне от 20 до 80 °С при давлении водорода 1 атм. The article discusses the technological and operational characteristics of a fiber-optic sensor of molecular hydrogen concentration based on the Fabry-Perot interferometer. The possibility of registering the hydrogen concentration by deformation of a membrane with an Al2O3/Ta/SiO2 layer deposited on its outside surface is shown. The deposited α-tantalum film provides high diffusion of hydrogen, and allows you to create sensors with a fast response to hydrogen, less than 10s. The almost complete absence of cross-sensitivity of the sensor to temperature in the range from 20 °C to 80 °C at a hydrogen pressure of 1 atm.
Журнал: Прикладная фотоника
Выпуск журнала: Т. 10, № 2
Номера страниц: 25-41
ISSN журнала: 24114367
Место издания: Пермь
Издатель: Пермский национальный исследовательский политехнический университет