Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: Нефть и газ - 2025; Москва; Москва
Год издания: 2025
Ключевые слова: влагочувствительный слой, влагопроницаемый электрод, температура точки росы, микродуговое оксидирование, электрохимическое анодирование, магнетронное напыление, оксид алюминия, титан, нитрид титана, moisture-sensitive layer, moisture-permeable electrode, dew point temperature, micro-arc oxidation, electrochemical anodizing, magnetron sputtering, aluminum oxide, titanium, titanium nitride
Аннотация: В работе представлен процесс создания и апробирования технологических линий микродугового оксидирования и электрохимического анодирования позволяющих изготавливать влагочувствительный слой микронной и нанометрической толщины сенсоров влажности газовых сред из оксида алюминия бездефектной конструкции. Реализовано нанесение влагопронПоказать полностьюицаемого электрода микронной и нанометрической толщины сенсоров влажности по технологии магнетронного напыления титана и нитрида титана в вакууме. Сенсоры влажности обладают мгновенным откликом, низким гистерезисом и широким диапазоном электрической ёмкости. The paper presents the process of creating and testing technological lines for microarc oxidation and electrochemical anodizing, which make it possible to produce a moisture-sensitive layer of micron and nanometric thickness of gas humidity sensors made of aluminum oxide of a defect-free design. The application of a moisture-permeable electrode of micron and nanometric thickness of humidity sensors using the technology of magnetron sputtering of titanium and titanium nitride in vacuum is realized. Humidity sensors have an instant response, low hysteresis and a wide range of electrical capacitance.
Журнал: Нефть и газ - 2025
Номера страниц: 410-411
Место издания: Москва